交变高低温箱测量不确定性分析

       在开发和生产过程中，半导体设备和部件应进行交变高低温试验。交变高低温箱是完成本试验的关键设备。交变高低温箱内的实际温度是否与设定温度和显示温度一致.箱体温度是否准确，直接关系到产品的试验是否有效.交变高低温箱检测的准确性对产品质量有重要影响。经过多年对单位质量部交变高低温箱的检测实践，证明我们的检测温度系统准确可靠。让我们分析一下它的测量不确定性。

       1.测量不确定性的来源

       交变高低温箱温度的检测由铂电阻随温度变化，变化的电阻值通过高温导线连接到温湿度检测器。温度检测器测量铂电阻值，软件计算每个点的相应温度值，然后显示打印检测结果。影响检测系统测量不确定性的方面如下：

       (1)铂电阻数据误差引起的规范不确定性U1。

       (2)温湿度检测仪数据误差引起的规范不确定性U2。

       (3)测试箱内温度不稳定导致精确测量规范的不确定性u3。

       (4)电阻器引起的高温导线较长的精确测量规范U4。

       (5)自然环境标准(温湿度).标准气压.开关电源.干扰信号等)引起的规范不确定性U5。

       由于连接铂电阻的输电线采用4线制，导线产生的偏差可以忽略U4.由于试验箱放置在温度控制室内，通常的开关电源是通过沟通稳压管，因此可以忽略自然环境标准造成的偏差U5。

       从以上分析可以看出，交变高低温箱的测温系统可以满足国家标准。